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      CVD系列真空電阻式氣相沉積爐

      所屬類別 : 特種爐型

      產品編號 : T-002 

      產品名稱 : CVD系列真空電阻式氣相沉積爐  

      裝料方式 : 立式

      • 產品詳情

      產品描述  化學氣相沉積爐是用采用石墨加熱,用石墨軟氈、不銹鋼框架組合隔熱屏隔熱的單室立、臥式真空爐?;瘜W氣相沉積爐主要用于碳材料的氣相致密化處理。

       

      主要技術指標

      型號

      有效區尺寸 (mm)

      裝爐量 (kg)

      加熱功率 (kw)

      最高溫度 ()

      溫度均勻性 ()

      極限真空度 (Pa)

      壓升率 (Pa/h)

      氣冷壓強 (bar)

      CVD251212

      2500x1200x1200

      1500

      650

      1500

      5

      10

      0.05

      /

      CVD401515

      4000x1500x1500

      6000

      650

      1300

      10

      10

      0.05

      /

      CVD181828

      1800x1800x2800

      800

      810

      1500

      10

      30

      0.08

      /

      注:個別指標可以根據客戶需求訂制。

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