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      1. CVD系列真空電阻式氣相沉積爐

        所屬類別 : 特種爐型

        產品編號 : T-002 

        產品名稱 : CVD系列真空電阻式氣相沉積爐  

        裝料方式 : 立式

        • 產品詳情

        產品描述  化學氣相沉積爐是用采用石墨加熱,用石墨軟氈、不銹鋼框架組合隔熱屏隔熱的單室立、臥式真空爐?;瘜W氣相沉積爐主要用于碳材料的氣相致密化處理。

         

        主要技術指標

        型號

        有效區尺寸 (mm)

        裝爐量 (kg)

        加熱功率 (kw)

        最高溫度 ()

        溫度均勻性 ()

        極限真空度 (Pa)

        壓升率 (Pa/h)

        氣冷壓強 (bar)

        CVD251212

        2500x1200x1200

        1500

        650

        1500

        5

        10

        0.05

        /

        CVD401515

        4000x1500x1500

        6000

        650

        1300

        10

        10

        0.05

        /

        CVD181828

        1800x1800x2800

        800

        810

        1500

        10

        30

        0.08

        /

        注:個別指標可以根據客戶需求訂制。

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